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产品系列:直线电机系列

型号:气浮超精密直线模组QFDG_100

采用精密加工的气浮部件搭配均匀气膜设计,确保运动时垂直和水平方向的直线度误差小于0.2微米/100毫米;  

 

elmo高性能驱动器结合海德汉高精度反馈系统,实现重复定位精度优于0.035微米;  

 

优秀的气浮结构设计,提供高承载能力,可支持超过100公斤负载,同时保持高刚性;

 

多耦合场仿真确定极优的气场参数设计,确保在气压大于0.65MPa时,仍可运行平稳且长期可靠。


技术参数
序号 项目 标准值
1

极高的垂直/水平直线度

0.2um/100mm

2

极高的重复定位精度

0.035um

3

高承载特性

100kg/>70N/um

4

极好的稳定性

气压>0.65MPa


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